一、用途

BM-107JE型測(cè)量顯微鏡是一種小型二維數(shù)顯測(cè)量的計(jì)量?jī)x器，儀器主要采用透、反射照明方式，通過(guò)觀察和數(shù)顯系統(tǒng)對(duì)精密件的幾何量（長(zhǎng)度、角度）進(jìn)行觀察、分析、測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬、小型零件（如鐘表零件）及其他精密件幾何參數(shù)的測(cè)量。 儀器可以連接CCD進(jìn)行影像測(cè)量。儀器體積小、重量輕、可廣泛應(yīng)用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究部門。

 

二、技術(shù)規(guī)格

光學(xué)系統(tǒng)		無(wú)限遠(yuǎn)正像光學(xué)系統(tǒng)
觀察方式	目鏡筒	1、30°鉸鏈?zhǔn)饺款^（48mm-75mm） 2、0.3XCCD適配鏡
	光學(xué)方式	透射、反射
物鏡參數(shù)	倍率	5X	10X	20X	50X
	視場(chǎng)直徑（mm）	34	17	8.5	3.5
	工作距離（mm）	14.47	16.01	10.5	5.1
目鏡參數(shù)		WF10X/Φ22mm
		WF10X/Φ20mm帶0.1mm十字分劃板
測(cè)量范圍		工作臺(tái)測(cè)量范圍：50×50mm
		圓工作臺(tái)角度測(cè)量范圍：0°～360°
分度值		X,Y方向分度值：0.001mm
		圓工作臺(tái)游標(biāo)分度值：5′
測(cè)量精度		儀器示值誤差±（4+L/25）μm， L－被測(cè)件長(zhǎng)度mm
調(diào)焦裝置		粗微動(dòng)同軸調(diào)焦行程：150mm，微m動(dòng)格值：0.002mm
照明裝置		反射照明：柯勒照明， LED（3W）, AC100V-240V 透射照明：LED（3W）, AC100V-240V
儀器主要尺寸		工作臺(tái)：200×200mm，測(cè)量工作臺(tái)直徑120mm ， 玻璃工作臺(tái)直徑75mm
選購(gòu)件		無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離物鏡：80X（WD=2.76mm）、 100X（WD=3.1mm）
		2、日本三豐Mitutoyo 數(shù)顯測(cè)微手輪 分辨率0.001mm 公英制轉(zhuǎn)換
		3、Z向輔助測(cè)量裝置
		4、二維測(cè)量軟件