一、用途

6JA干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度，并配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進(jìn)行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。

本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。

二、技術(shù)規(guī)格

1、測量表面光潔度范圍 ：▽10～▽14（相當(dāng)于測量表面不平深度范圍為1～0.03μm）

2、工作物鏡的數(shù)值孔徑：0.65

3、工作距離： 0.5mm

4、儀器的視場 目視：Φ0.25mm

5、儀器的放大倍數(shù)：500×

6、測量目鏡放大倍數(shù)：12.5×

7、測微鼓分劃值：0.01mm

8、綠色干涉綠色片波長 ：λ≈5300Å

9、半寬度：▽λ≈100Å

10、 工作臺升程：5mm

11、X、Y方向移動范圍 ：≈10mm

12、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動范圍 ：360°

13、可調(diào)變壓器輸入電壓： 220V 或110V

14、輸出電壓（可調(diào)）：4V～6V

15、儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡：高反射率：≈50%； ；低反射率： ≈4%

16、儀器外形尺寸：270×160×230mm

17、 儀器重量： ≈5㎏

三、選配件

1、計算機(jī)成像系統(tǒng)：CCD攝像頭、CCD適配鏡、外置式圖像視頻采集卡(A/D)

2、數(shù)碼相機(jī)系統(tǒng) ：數(shù)碼相機(jī)、90度數(shù)碼適配鏡、轉(zhuǎn)接器

3、數(shù)碼攝像機(jī)系統(tǒng)：便攜式數(shù)碼攝像機(jī)、數(shù)碼圖像適配鏡（攝像型）、轉(zhuǎn)接環(huán)

4、數(shù)字CMOS攝像機(jī)：(130萬/300萬/500萬/1000萬)、MCL-Z適配鏡

四、儀器成套性