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電子顯微鏡的工作原理

電子顯微鏡使用電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)獲取有關(guān)結(jié)構(gòu),形態(tài)和組成的信息。

  1. 電子槍產(chǎn)生電子。
  2. 兩組聚光鏡將電子束聚焦在樣本上,然后聚焦成細(xì)束。
  3. 為了將電子向下移動(dòng)到色譜柱,在鎢絲和陽(yáng)極之間施加了一個(gè)加速電壓(通常在100 kV-1000 kV之間)。
  4. 待檢查的樣品非常薄,至少比光學(xué)顯微鏡薄200倍。切下20-100 nm的超薄切片,該切片已經(jīng)放置在樣品架上。
  5. 電子束穿過(guò)樣品,并且電子會(huì)根據(jù)樣品不同部分的厚度或折射率而散射。
  6. 樣品中較稠密的區(qū)域會(huì)散射更多的電子,因此在圖像中顯得更暗,因?yàn)楦俚碾娮幼矒羝聊坏脑搮^(qū)域。相反,透明區(qū)域更亮。
  7. 從樣品中出來(lái)的電子束到達(dá)物鏡,該物鏡具有高功率并形成中間放大圖像。
  8. 目鏡然后產(chǎn)生zui終的進(jìn)一步放大的圖像。